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一种氮掺杂CuAlO2薄膜的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811194869.9
  • IPC分类号:C23C18/12
  • 申请日期:
    2018-10-01
  • 申请人:
    盐城师范学院
著录项信息
专利名称一种氮掺杂CuAlO2薄膜的制备方法
申请号CN201811194869.9申请日期2018-10-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-02-12公开/公告号CN109321899A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/12IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;1;2查看分类表>
申请人盐城师范学院申请人地址
江苏省盐城市经济开发区希望大道南路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人盐城师范学院当前权利人盐城师范学院
发明人刘卫卫;陈存彪;胡松林
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明涉及一种氮掺杂CuAlO2薄膜的制备方法。由于未掺杂CuAlO2薄膜的电阻率较高,阻碍其在光电器件领域的应用。本发明通过氮掺杂来有效地改善CuAlO2薄膜的光电特性,对CuAlO2薄膜在光电器件领域的应用有着重要的参考价值。本发明的方法为:配制Cu2+、Al3+和N3‑的摩尔比为1∶1∶2的溶液;利用旋涂工艺在经过磷酸和硫酸混合溶液腐蚀15分钟后的c面蓝宝石衬底上旋涂含有Cu、Al、O和N的薄膜;在氮气气氛中1000℃~1100℃热处理2~3小时即可得到氮掺杂的CuAlO2薄膜。本发明的优点为工艺过程简单以及设备要求低。

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