一种微波等离子体化学气相沉积装置实用新型专利
申请号：CN202021593724.9
LOC分类号:C23C16/511
IPC结构图谱：
- B作业；运输
- B6交通运输
- B65输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
- B65G运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D）
- B65G65/00装载或卸载（车辆的入B65G 67/00）
- B65G65/30装填或排空料仓、料斗、罐或类似容器的方法或装置，而不包括这些方法或装置在特殊的化学或物理工艺过程中的使用或在特殊机械上的应用，例如不包含在其他单个小类中的（倾倒并排空容器的装置入B65G 65/23；具有便于装填或排空装置的这些容器入B65D 88/54）〔3〕
- B65G65/34排空装置（输送机结构入B65G 15/00至B65G 35/00；类似于车辆翻倾机构入B65G 67/48）
- B65G65/40从顶部以外的位置排空的装置
- B65G65/44使用往复式输送机，如振动输送机
