全自动坩埚机械手

发明专利无效专利

申请号：
CN201010210012.9
IPC分类号：C30B15/00;C30B35/00
申请日期：
2010-06-25
申请人：
上海汉虹精密机械有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	全自动坩埚机械手
申请号	CN201010210012.9	申请日期	2010-06-25
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-11-10	公开/公告号	CN101880909A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0;;;C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	上海汉虹精密机械有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海汉虹精密机械有限公司,上海申和热磁电子有限公司	当前权利人	上海汉虹精密机械有限公司,上海申和热磁电子有限公司
发明人	赖章田;贺贤汉
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	胡晶

摘要

本发明公开了一种全自动坩埚机械手，用于自动拖运单晶炉内的石墨坩埚、石英坩埚以及石英坩埚里面所装的硅料。本机构主要包括以下功能部件，底部减速箱，减速箱里有转轴、齿轮传动副、减速电机，减速箱上面安装有转轴座，还有安装在转轴上的立柱；所述立柱上设有悬臂梁，及使悬臂梁上下运动的升降机构，悬臂梁的前端设有坩埚抓手部件、气动单元与锁紧单元，以及用于调节坩埚抓手横向位置的横向调节部件。本发明使得搬运硅料及坩埚实现全自动化，省时省力，大大提高了生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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