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一种辅助硅片刻蚀上料整齐的装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520670470.9
  • IPC分类号:H01L31/18;B65G47/74
  • 申请日期:
    2015-09-01
  • 申请人:
    润峰电力有限公司
著录项信息
专利名称一种辅助硅片刻蚀上料整齐的装置
申请号CN201520670470.9申请日期2015-09-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;B;6;5;G;4;7;/;7;4查看分类表>
申请人润峰电力有限公司申请人地址
山东省济宁市微山县经济开发润峰工业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人润峰电力有限公司当前权利人润峰电力有限公司
发明人王曼;史磊;钱金梁
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种辅助硅片刻蚀上料整齐的装置,包括硅片输送装置,所述硅片输送装置侧端并排设置有硅片阻挡装置,所述硅片阻挡装置包括安装架,所述安装架上安装有固定板,所述固定板上安装有气动推进装置,所述气动推进装置的动力输出端安装有挡板,在气动推进装置呈伸展状态时,所述挡板的底面位于硅片输送装置的上方,与硅片相接触;所述气动推进装置侧端的固定板上还安装有感应装置,本实用新型可以有效的保证硅片在刻蚀工艺中要求的硅片整齐度,从而保证生产质量。

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