一种用于稀薄大气空间的次声波传感器及声探测载荷舱

发明专利有效专利

申请号：
CN201910747974.9
IPC分类号：G01H11/06;G01V1/20;G01V1/18
申请日期：
2019-08-14
申请人：
中国地震局地壳应力研究所

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著录项信息

专利名称	一种用于稀薄大气空间的次声波传感器及声探测载荷舱
申请号	CN201910747974.9	申请日期	2019-08-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-17	公开/公告号	CN110579269A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H11/00 通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波 G01H11/06 用电的方法〔4〕	IPC分类号	G;0;1;H;1;1;/;0;6;;;G;0;1;V;1;/;2;0;;;G;0;1;V;1;/;1;8查看分类表>
申请人	中国地震局地壳应力研究所	申请人地址	北京市海淀区安宁庄路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国地震局地壳应力研究所	当前权利人	中国地震局地壳应力研究所
发明人	郭泉
代理机构	北京方安思达知识产权代理有限公司	代理人	陈琳琳;李彪

摘要

本发明涉及差压型硅微压阻传感技术领域，具体涉及一种用于稀薄大气空间的次声波传感器，包括：恒温壳体及设置在壳体内的总通气管、第一通气管、第二通气管、次声波差压检测器、若干谐振腔和通气管路控制模块；所述次声波差压检测器包括：空腔体、第一平衡腔通气管、MEMS敏感膜和第二平衡腔通气管；空腔体内设置MEMS敏感膜，将空腔体分为第一平衡腔和第二平衡腔，用于根据感知的第一平衡腔和第二平衡腔的压力值，检测第一平衡腔与第二平衡腔之间的压力差，并将该压力差转换为电信号向外输出；第一平衡腔上设有第一通气管，其与第一声容腔连通；第二平衡腔上设有第二通气管，其通过总通气管与外界大气压连通；若干谐振腔之间通过若干电控阀进行级联。

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