一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020297902.7
IPC分类号：B23Q3/06;B23C3/28
申请日期：
2020-03-11
申请人：
上海江丰平芯电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具
申请号	CN202020297902.7	申请日期	2020-03-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23Q3/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23Q 机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装置（在车床或镗床上使用的各类刀具入B23B 27/00）；以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床；不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合 B23Q3/00 工件或刀具的夹固，支承，定位装置，一般可从机床上拆下的（工作台或其他部件，如花盘，一般不带装卡工件的装置入B23Q 1/00；自动定位控制入B23Q 15/00；车床用旋转刀架入B23B 3/24，B23B 3/26；非传动式刀夹入B23B 29/00；转塔刀架一般特征入B23B 29/24；用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备入B25B） B23Q3/02 装在工作台，刀具滑板，或类似部件上（B23Q 3/15优先） B23Q3/06 工件夹紧装置（若不专门适用于机床入B25B）	IPC分类号	B;2;3;Q;3;/;0;6;;;B;2;3;C;3;/;2;8查看分类表>
申请人	上海江丰平芯电子科技有限公司	申请人地址	上海市奉贤区奉浦工业区奉浦大道111号5楼2427室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海江丰平芯电子科技有限公司	当前权利人	上海江丰平芯电子科技有限公司
发明人	姚力军;惠宏业;潘杰;王学泽;李力平
代理机构	北京远智汇知识产权代理有限公司	代理人	王岩

摘要

本实用新型提供了一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具，所述的自定心夹具包括带凹槽的夹具底座，夹具底座的凹槽内设置有夹具体，夹具体的顶部为内锥面，紧贴所述的夹具体外侧套设有弹性体，弹性体的顶部为外锥面，所述弹性体的外锥面与夹具体的内锥面相匹配；所述的夹具体底部设置有与弹簧套连接的驱动部件，所述驱动部件用于带动弹性体上下移动；所述的夹具底座上还设置有沿弹性体外周环设的定位件，晶圆保持环沿定位件外周放置，随着驱动部件带动弹性体下移，弹性体顶部的外锥面受到挤压推动定位件外扩，内撑卡紧晶圆保持环。本实用新型提供的自定心夹具主要用于晶圆保持环的铣槽加工过程，有效保持晶圆保持环在铣槽过程时的平面度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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