用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910204249.7
IPC分类号：B24B49/00;B24B13/00
申请日期：
2019-03-18
申请人：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心

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专利名称	用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置及方法
申请号	CN201910204249.7	申请日期	2019-03-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-07-02	公开/公告号	CN109955148A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B49/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B49/00 用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的（B24B 33/06，B24B 37/005优先；如果适合于其他机床，B23Q 15/00到B23Q 17/00优先）〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;4;9;/;0;0;;;B;2;4;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	申请人地址	四川省绵阳市绵山路64号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	当前权利人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人	周炼;韦前才;陈贤华;赵世杰;谢瑞清;张清华;王健;许乔;李洁;郑楠;廖德峰
代理机构	北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	姜海荣

摘要

本发明公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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