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超声键合制备倒装焊盘的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910997953.2
  • IPC分类号:H01L21/48
  • 申请日期:
    2019-10-21
  • 申请人:
    湖北方晶电子科技有限责任公司
著录项信息
专利名称超声键合制备倒装焊盘的方法
申请号CN201910997953.2申请日期2019-10-21
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-05-07公开/公告号CN112768361A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/48IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;4;8查看分类表>
申请人湖北方晶电子科技有限责任公司申请人地址
湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湖北方晶电子科技有限责任公司当前权利人湖北方晶电子科技有限责任公司
发明人詹创发
代理机构东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)代理人侯来旺
摘要
本发明公开了一种超声键合制备倒装焊盘的方法,包括超声键合机、塑封机和研磨机,包括以下步骤:步骤A、在半导体衬底上形成导电层;步骤B、使用超声键合机将钢球焊接固定在导电层上;步骤C、使用塑封机在半导体衬底上填充绝缘树脂层,且绝缘树脂层并将钢球包裹;步骤D、使用研磨机对步骤C中的绝缘树脂层进行研磨,研磨至将钢球的顶部露出绝缘树脂层并使钢球的顶部磨平;步骤E、在钢球的被磨平顶面喷淋易焊金属保护层。本发明的方法操作便捷,有利于降低环境污染,环保性能好,有利于降低制作成本,同时制作的成品质量稳定可靠,并且也大大提高了加工的效率,适用性强。

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