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一种采用印刷工艺制作FRGPP芯片的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711057735.8
  • IPC分类号:H01L21/228;H01L21/329
  • 申请日期:
    2017-11-01
  • 申请人:
    天津环鑫科技发展有限公司
著录项信息
专利名称一种采用印刷工艺制作FRGPP芯片的方法
申请号CN201711057735.8申请日期2017-11-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-05-14公开/公告号CN109755117A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/228IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;2;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;9查看分类表>
申请人天津环鑫科技发展有限公司申请人地址
天津市西青区华苑产业区(环外)海泰东路12号A座二层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津环鑫科技发展有限公司当前权利人天津环鑫科技发展有限公司
发明人梁效峰;徐长坡;陈澄;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏
代理机构天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人栾志超
摘要
本发明涉及一种采用印刷工艺制作FRGPP芯片的方法,制备步骤包括硅片预处理,多重扩散,玻钝印刷制图,金属化和测试分选,其中扩散步骤采用硅磷一次性负压扩散,并采用湿法制绒,铂扩散采用涂铂源,玻钝过程采用印刷的方式进行保护层和玻璃桨的涂布,简化了玻钝过程,增加了制备速率。与传统方法比较,印刷工艺制作FRGPP芯片生产过程规模化、自动化、信息化、少人化;FRGPP芯片产品生产成本低、品质高、一致性高、市场兼容性好;印刷工艺效率高、精度高,替代现有工艺流程中涂覆、镀膜、电泳等工艺,实现自动化少人化生产的同时,提升产品一致性,降低环保、安全风险。

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