一种MEMS质量流量控制器及控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110356195.3
IPC分类号：G05D7/06
申请日期：
2021-04-01
申请人：
青岛芯笙微纳电子科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种MEMS质量流量控制器及控制方法
申请号	CN202110356195.3	申请日期	2021-04-01
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-23	公开/公告号	CN113157008A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D7/00 流量控制（液位控制入G05D 9/00；比率控制入G05D 11/00；称重装置入G01G） G05D7/06 以使用电装置为特征的	IPC分类号	G;0;5;D;7;/;0;6查看分类表>
申请人	青岛芯笙微纳电子科技有限公司	申请人地址	山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛芯笙微纳电子科技有限公司	当前权利人	青岛芯笙微纳电子科技有限公司
发明人	胡国庆;田伟
代理机构	青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙）	代理人	刘娜

摘要

本发明公开了一种MEMS质量流量控制器及控制方法，包括壳体以及位于壳体内部的质量流量传感器和微加热器，所述壳体包括下基板及上盖板及由二者围成的气流通道；质量流量传感器固定在下基板上，且位于靠近气流通道的入口一侧；微加热器通过导热介质固定在上盖板上，且位于靠近气流通道的出口一侧。本发明所公开的MEMS质量流量控制器利用质量流量传感器对气体流量进行测量并实时反馈，作为调节微加热器功率的依据，进而利用导热介质热胀冷缩引起的形变实现对微小流量的高精度控制，本发明具有结构简单、体积小、成本低、制备可控性强的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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