可拉伸显示面板及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010707450.X
IPC分类号：H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32;G09F9/33;G09F9/30
申请日期：
2020-07-21
申请人：
京东方科技集团股份有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	可拉伸显示面板及其制作方法
申请号	CN202010707450.X	申请日期	2020-07-21
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-10-20	公开/公告号	CN111799399A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L51/56 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L51/20 （转入H01L 51/05，H01L 51/42，H01L 51/50） H01L51/50 专门适用于光发射的，如有机发光二极管（OLED）或聚合物发光器件（PLED）（有机半导体激光器入 H01S 5/36）〔8〕 H01L51/56 专门适用于制造或处理这种器件或其部件的方法或设备〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;5;1;/;5;6;;;H;0;1;L;5;1;/;5;2;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2;;;G;0;9;F;9;/;3;3;;;G;0;9;F;9;/;3;0查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司
发明人	王国强;薛金祥;孙中元
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王佳璐

摘要

本发明提出可拉伸显示面板及其制作方法。该制作方法包括：提供衬底，其上包括显示单元、连接单元和镂空区；在衬底上形成各膜层结构且各膜层结构在衬底上的正投影落入显示单元、连接单元和镂空区之内；在各膜层结构远离衬底的表面形成第一平坦化层；在第一平坦化层远离衬底的一侧形成彩膜层，且彩膜层在衬底上的正投影落入显示单元之内；在彩膜层远离衬底的一侧形成彩膜保护层，且只覆盖显示单元和连接单元；对镂空区进行灰化工艺，去除镂空区内的第一平坦化层和各膜层结构。本发明的制作方法，将彩膜层制作在发光基板的一侧，且以彩膜保护层为硬掩模形成镂空区，避免对低温多晶硅薄膜晶体管特性的影响，以及刻蚀对阳极的损伤问题。

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