一种晶圆等离子切割保护液及其制备方法与用途

发明专利有效专利

申请号：
CN202110704136.0
IPC分类号：C09D133/00;C09D171/02;C09D7/65;C09D7/20;H01L21/683;H01L21/78
申请日期：
2021-06-24
申请人：
浙江奥首材料科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆等离子切割保护液及其制备方法与用途
申请号	CN202110704136.0	申请日期	2021-06-24
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-16	公开/公告号	CN113652128A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09D133/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K 5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K 3/10；用于防止泄漏的材料入C09K 3/12；电解或电泳生成镀层的方法入C25D）〔5〕 C09D133/00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料组合物〔5〕	IPC分类号	C;0;9;D;1;3;3;/;0;0;;;C;0;9;D;1;7;1;/;0;2;;;C;0;9;D;7;/;6;5;;;C;0;9;D;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8查看分类表>
申请人	浙江奥首材料科技有限公司	申请人地址	浙江省衢州市杜鹃路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江奥首材料科技有限公司	当前权利人	浙江奥首材料科技有限公司
发明人	侯军;贺剑锋
代理机构	大连大工智讯专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	崔雪

摘要

本发明提供一种晶圆等离子切割保护液及其制备方法与用途。本发明晶圆等离子切割保护液包括重量配比如下的各组分：水溶性树脂5‑40份；润湿剂0.1‑2份；消泡剂0.1‑2份；自由基捕捉剂0.1‑2份；有机溶剂5‑20份；水34‑89.7份。本发明晶圆等离子切割保护液能够在晶圆表面快速成膜，具有良好的耐热性和可移除性。在晶圆加工时采用本发明保护液，能够有效避免冷凝后的硅蒸气或其他在加工过程中产生的碎屑沉积在芯片表面；同时本发明晶圆等离子切割保护液具有较高的热稳定性，能够避免由于激光切割的热效应或在较高工作温度下进行等离子切割时，保护膜分解导致晶圆表面直接暴露在外部环境下，有效提高产品的可靠性和良率。

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