一种循环往复式硅片清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020393215.5
IPC分类号：B08B3/02;H01L21/67
申请日期：
2020-03-25
申请人：
扬州荣兴达光电科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种循环往复式硅片清洗装置
申请号	CN202020393215.5	申请日期	2020-03-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	扬州荣兴达光电科技有限公司	申请人地址	江苏省扬州市江都区郭村镇工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州荣兴达光电科技有限公司	当前权利人	扬州荣兴达光电科技有限公司
发明人	徐爱阳
代理机构	南京德铭知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及硅片生产领域的一种循环往复式硅片清洗装置，包括上部框架，上部框架固定在龙门架的下方，上部框架与地面之间平行设置，上部框架的下面配合设置有往复喷淋机构，往复喷淋机构与上部框架之间通过滑动连接组件连接；往复喷淋机构通过滑动连接组件在上部框架上进行前后移动；往复喷淋机构的中心部位设置有喷淋部，喷淋部处呈镂空形状设置，往复喷淋机构上还配合设置有水管组件，水管组件分别设置有若干组；本实用新型能够高效的来回往复移动，实现对硅片360°无死角的批量化清洗，提高工作效率，降低成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供