双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜

发明专利有效专利

申请号：
CN202110837475.6
IPC分类号：H02N2/02;H02N2/06
申请日期：
2020-10-09
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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著录项信息

专利名称	双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜
申请号	CN202110837475.6	申请日期	2020-10-09
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-02	公开/公告号	CN113595440A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02N2/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02N 其他类目不包含的电机 H02N2/00 利用压电效应、电致伸缩或磁致伸缩的电动机或发电机（一般产生机械振动的装置入B06B；压电的、电致伸缩的或磁致伸缩的器件一般入H01L 41/00）〔4〕 H02N2/02 产生直线运动的，例如致动器；直线定位器〔6〕	IPC分类号	H;0;2;N;2;/;0;2;;;H;0;2;N;2;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市蜀山湖路350号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	郑少锋;陆轻铀;张晶;王纪浩;孟文杰;侯玉斌;冯启元;王泽
代理机构	合肥天明专利事务所（普通合伙）	代理人	汪贵艳

摘要

双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜。本申请是申请号为202011073350.2的分案申请。本发明提供了一种双折叠十字二维压电马达，包括滑板，所述滑板为上下双层结构，所述滑板内设有XY压电体架，所述XY压电体架平行地置于所述双层板之间，所述XY压电体架在X方向与Y方向的两端分别为X+和X‑端、Y+和Y‑端，所述XY压电体架内设有X压电体部、Y压电体部，所述X压电体部、Y压电体部垂直交叉布置，所述X+压电体、X‑压电体的自由端与双层板的下板相压，Y+压电体、Y‑压电体的自由端与双层板的上板相压。其优点是：压电体利用率高，推力大，尺寸小，弹力自调节，行程广，工作温区大。

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