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一种光刻机光线电磁光闸装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911120572.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G02B26/02
  • 申请日期:
    2019-11-15
  • 申请人:
    苏州采奕动力科技有限公司
著录项信息
专利名称一种光刻机光线电磁光闸装置
申请号CN201911120572.2申请日期2019-11-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-02-04公开/公告号CN110750037A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;2;6;/;0;2查看分类表>
申请人苏州采奕动力科技有限公司申请人地址
江苏省昆山市千灯镇石浦仁成路57号2号房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州采奕动力科技有限公司当前权利人苏州采奕动力科技有限公司
发明人任明锋
代理机构北京国坤专利代理事务所(普通合伙)代理人赵红霞
摘要
本发明揭示了一种光刻机光线电磁光闸装置,包括叶板和偏摆驱动机构,偏摆驱动机构包括电磁座和传动轴,电磁座包括导磁外筒、线圈及两端的固定铁芯,其中一个铁芯的外露面设置有涡卷扭簧座,传动轴一端与涡卷扭簧座相配接、另一端穿过电磁座与叶板相连,传动轴上套接有动铁芯,动铁芯与传动轴之间周向锁固轴向滑动配接,动铁芯的轴向两端分别设有倾斜面,任意固定铁芯设有的驱动面。本发明采用电磁传动结构实现对叶板的偏摆驱动,相较传统地电机驱动具备响应速度快、位置度精确及使用寿命长的特点。特定螺旋桨结构的动铁芯,具备螺旋扇面,能在限制空间内实现低功率高转矩,电磁吸力稳定可靠,满足风叶偏摆行程需求。

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