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内衬及半导体加工设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010042011.1
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2020-01-15
  • 申请人:
    北京北方华创微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称内衬及半导体加工设备
申请号CN202010042011.1申请日期2020-01-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-06-05公开/公告号CN111243991A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人北京北方华创微电子装备有限公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人贺斌;郑友山
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;魏艳新
摘要
本发明提供一种内衬及半导体加工设备,其中,内衬包括筒本体、环体、多个栅格梁;栅格梁设置在筒本体的下端,并分别与筒本体和环体相连接;相邻栅格梁之间的间隙,形成为供气体通过的气流通道,内衬还包括多个第一旋转组件、多个第二旋转组件、多个连接件,以及至少一个调节组件;多个栅格梁中,至少部分栅格梁为可调节栅格梁;调节组件通过连接件以及第二旋转组件,与可调节栅格梁相连接,用于将可调节栅格梁与竖直方向的夹角调节至预设角度;可调节栅格梁是指分别与第一旋转组件、第二旋转组件、连接件相连接的栅格梁。本发明提供的内衬及半导体加工设备,能够提高工艺气体分布的均匀性,从而提高工艺均匀性,改善工艺结果。

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