一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210204871.6
IPC分类号：--
申请日期：
2012-06-20
申请人：
东北大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法
申请号	CN201210204871.6	申请日期	2012-06-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-03	公开/公告号	CN102709473A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东北大学	申请人地址	辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东北大学	当前权利人	东北大学
发明人	李建昌;王博锋;曹青;李永宽;巴德纯
代理机构	沈阳东大专利代理有限公司	代理人	李运萍

摘要

本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是：称取Ni(CH3COO)2·4H2O，溶于乙二醇甲醚中，加入摩尔比为（3-15）：1的RuCl3·3H2O和Al(NO3)3·9H2O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶，同时称取SnCl2·2H2O溶于无水乙醇中，得到锡溶胶，将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合，在空气中静置陈化，对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜，最后进行热处理，得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜，沉积设备简单、成本低，易控制薄膜组分，而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。

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