一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821245713.4
IPC分类号：C30B15/00;C30B29/06
申请日期：
2018-08-02
申请人：
内蒙古赛宝伦科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉
申请号	CN201821245713.4	申请日期	2018-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	内蒙古赛宝伦科技有限公司	申请人地址	内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园开放大街沙尔沁工业区建设指挥部办公大楼0402-01号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	内蒙古赛宝伦科技有限公司	当前权利人	内蒙古赛宝伦科技有限公司
发明人	贠书印;罗园;陶建涛;高贻刚;李婷
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉，包括炉体，所述炉体的上表面设置有冷凝水注入口，且炉体的上表面靠近冷凝水注入口一侧位置处设置有冷凝水排出口，所述炉体的外部安装有防护装置，且炉体的外部靠近防护装置下方位置处设置有限位块，本实用新型中底座和干燥剂的设置，增加了炉体放置时的稳定性，使得炉体底部处于干燥的环境中，避免潮湿环境的因素而锈蚀，具备良好的保护性；冷凝水注入口和冷凝水排出口的设置，能够对炉体进行快速降温，提高了炉体的使用寿命；防护装置的设置，能够对炉体进行防护，避免工作时炉体对人员造成烫伤，还可以对炉体进行保护，该单晶炉设计合理，操作简单，消耗成本低，便于推广。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供