一种抽气系统及工艺

发明专利无效专利

申请号：
CN201210170072.1
IPC分类号：F04B37/02;F04B37/14
申请日期：
2012-05-29
申请人：
储琦;储昕

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种抽气系统及工艺
申请号	CN201210170072.1	申请日期	2012-05-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-09-26	公开/公告号	CN102691640A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B37/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B37/00 专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵 F04B37/02 通过吸收或吸附而抽出（一般吸收或吸附入B01J）	IPC分类号	F;0;4;B;3;7;/;0;2;;;F;0;4;B;3;7;/;1;4查看分类表>
申请人	储琦;储昕	申请人地址	广东省深圳市福田区皇岗中路深大新村1栋502室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	储琦,储昕	当前权利人	储琦,储昕
发明人	储琦;储昕
代理机构	深圳中一专利商标事务所	代理人	陈世洪

摘要

本发明适用于真空获得技术领域，提供了一种抽气系统及工艺，所述抽气系统包括电弧钛泵及真空室，所述电弧钛泵直接与真空室连通。如此即可省却电弧钛泵与真空室间的高真空阀，结构简单，极大地降低了本抽气系统的成本。与本抽气系统相适应的，于电弧钛泵抽气结束后，真空室暴露大气之前，使钛靶冷却一段时间，从而降低钛靶表面的氧化损耗，提升钛靶的使用寿命。如此使得本抽气系统的性价比极高。

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