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高灵敏度加速度传感器结构的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910318111.X
  • IPC分类号:B81C1/00;B81B7/02;G01P15/12
  • 申请日期:
    2019-04-19
  • 申请人:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
著录项信息
专利名称高灵敏度加速度传感器结构的制备方法
申请号CN201910318111.X申请日期2019-04-19
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2019-07-23公开/公告号CN110040682A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B81C1/00IPC分类号B;8;1;C;1;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2查看分类表>
申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请人地址
上海市长宁区长宁路865号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所当前权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人王家畴;李昕欣
代理机构上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙)代理人宋缨
摘要
本发明提供一种高灵敏度加速度传感器结构的制备方法,包括:提供衬底;于衬底正面进行硼离子注入;于衬底的正面及背面依次形成第一氧化硅层及低应力氮化硅层;于衬底的正面形成释放窗口;形成深槽;形成内部刻蚀缓冲腔体;于释放窗口的侧壁、内部刻蚀缓冲腔体的侧壁及内部刻蚀缓冲腔体的上下表面形成低应力多晶硅层;于低应力多晶硅层表面形成氧化硅钝化层;于衬底的背面形成沟槽;去除位于内部刻蚀缓冲腔体底部的氧化硅钝化层;于衬底的正面制备引线孔、金属引线及焊盘;提供键合衬底,将键合衬底键合于所述衬底的背面;释放悬臂梁及质量块。本发明可以避免对悬臂梁过刻蚀,从而可以确保任意尺寸悬臂梁的厚度的可控性及均匀性。

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