漏液侦测装置

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漏液侦测装置\n技术领域\n[0001] 本发明涉及半导体制造的技术领域，尤其涉及一种漏液侦测装置。\n背景技术\n[0002] 目前，为了方便传输，工厂中由厂务端向设备端供应的中转箱会有几个管道通向机台端，中转箱中的管道有时会发生化学药液泄漏，而化学药液通常具有腐蚀性，泄漏现象有时由于未能及时被发现并处理，可能导致大面积的泄漏，有时甚至会造成设备的损害，造成较大损失。为了解决这一问题，采用在中转箱底部开孔并于开孔处加装一条底部密封的管路，在管路外部安装传感器，形成漏液侦测装置来侦测中转箱内部的漏液情况，发生液体泄漏时，有时会由于漏液进入管路时形成气封现象导致管路下端没有液体，致使传感器没有感应到管路内部的变化，报警系统没有触发，从而由于漏液侦测不及时导致大面积漏液现象的发生，进而导致设备损坏等较为严重的后果。\n[0003] 中国专利（公开号：CN202074239U）公开了一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、反射镜、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。反射镜设置于套管的外壁上。\n感湿薄膜覆盖反射镜，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收来自反射镜的反射光。\n[0004] 中国专利（公开号：CN1595131A）公开了一种漏液检测装置至少包括：一电压供应电路、一漏液检出电路、一滤波电路、一漏液比较电路、一参考电压源以及一漏液信号输出电路；其根据漏液传感器感测到的液体阻抗的不同，使漏液检出电路中的运算放大器产生不同的电压输出，且将该输出电压与一参考电压源进行比较，作为漏液传感器是否与液体接触的判定依据，进而提供晶体管一正偏电压或负偏电压，使漏液信号输出电路中的共射极NPN晶体管导通或不导通，推动继电器产生开或关的信号，令可编程逻辑运算控制器电路产生控制信号，该发明的漏液检测装置可感测高阻抗液体的同时，还具有较长的检测距离，该发明还可检测到漏液传感器是否发生断路或短路现象。\n[0005] 上述两件专利均公开了漏液侦测装置，但其采用的技术方案以及与本发明所采用的技术方案并不相同。\n发明内容\n[0006] 针对上述存在的问题，本发明公开一种漏液侦测装置，以克服现有技术中漏液进入管路时形成气封现象，导致管路下方没有液体，从而无法有效侦测到中转箱是否有漏液的问题。\n[0007] 为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：\n[0008] 一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，包括：\n[0009] 一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；\n[0010] 设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，[0011] 设置于所述套管外部的传感器。\n[0012] 上述的漏液侦测装置，其中，所述管路和所述支管均为直管。\n[0013] 上述的漏液侦测装置，其中，所述支管与所述管路采用支架连接。\n[0014] 上述的漏液侦测装置，其中，所述中转箱底部的开孔设有多个，每个开孔均连通一个套管，每个套管外部均设置一个传感器。\n[0015] 上述的漏液侦测装置，其中，所述支管底部与所述管路底部不接触。\n[0016] 上述的漏液侦测装置，其中，所述支管的中心线和所述管路的中心线重合。\n[0017] 上述的漏液侦测装置，其中，所述支管的中心线和所述管路的中心线不重合。\n[0018] 上述的漏液侦测装置，其中，所述传感器为电容传感器。\n[0019] 上述的漏液侦测装置，其中，所述传感器设有报警装置。\n[0020] 上述的漏液侦测装置，其中，所述套管采用防酸碱材质。\n[0021] 上述发明具有如下优点或者有益效果：\n[0022] 本发明采用在中转箱底部的管路中设置一个起导气功能的支管，从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象，导致管路下方没有液体，从而无法有效侦测到中转箱中是否有漏液的问题。\n[0023] 具体附图说明\n[0024] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。\n[0025] 图1是本发明漏液侦测装置实施例一中套管的俯视图；\n[0026] 图2是本发明漏液侦测装置实施例一中套管的剖面结构示意图；\n[0027] 图3是本发明漏液侦测装置实施例一的剖面结构示意图；\n[0028] 图4是本发明漏液侦测装置实施例二中套管的俯视图；\n[0029] 图5是本发明漏液侦测装置实施例二中套管的剖面结构示意图；\n[0030] 图6是本发明漏液侦测装置实施例三的剖面结构示意图。\n具体实施方式\n[0031] 下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。\n[0032] 实施例一：\n[0033] 如图1-3所示，本实施例涉及一种漏液侦测装置，应用于向机台6传输化学药液的管道的漏液侦测，传输化学药液的管道通常设有多根，本实施例的装置包括：套设于这些用于传输化学药液的管道外的中转箱1、与中转箱1底部开孔连通的套管以及设置于套管外面的传感器4。如图1和图2所示，套管包括底部密封的管路2和设置于管路2内部的支管3，支管3具有排气功能，且支管3的中心线和管路2的中心线重合，支管3的一端伸出管路2的顶部开口，支管3的底部高于管路2的底部，即支管3的底部和管路2的底部不接触，支管3和管路2通过支架5连接，支架5固定设于管路2的上部和下部，支管3插设于支架5中并固定，从而与管路2连接。当中转箱1内有漏液时，就会流入管路2中，从而被外部的传感器4感知，触发传感器4内的报警装置，从而能对漏液进行有效的侦测，使漏液问题能及时的得到处理，且当漏液进入管路2时，由于支管3的导气作用，管路2中不会发生气封现象，避免了当漏液进入管路2时发生气封现象导致管路无漏液，传感器4无法侦测到漏液，导致漏液问题不能及时的被侦测到，无法及时处理，从而导致大面积漏液现象的发生，进而可能导致设备损坏等严重后果。\n[0034] 本实施例中，管路2及支管3为直管，从而使漏液能迅速的流入管路2中，同时支管3能起到很好的排气作用；传感器4为电容传感器，通过电容的变化来侦测管路2中是否有漏液，保证了漏液侦测的稳定性和有效性；管路2和支管3采用防酸碱材质，当漏液为有腐蚀性的液体时，管路2和支管3不会被腐蚀，从而保证了漏液侦测装置的持久性。\n[0035] 实施例二：\n[0036] 如图4和图5所示，本实施例和实施例一大致相同，具体改进支管3和管路2的中心线不重合，即：支管3可设于管路2中近一侧内壁的位置，在本实施例中，管路2的支管3空间被分为两个区域，支管3左侧外壁和管路2左侧内壁形成的较大的左侧区域，和支管3右侧外壁和管路2右侧内壁形成的较小右侧区域，开孔位于中转箱1底部的右侧，当管道中的液体泄漏时，液体从中转箱1底部的左侧向右侧开孔处移动，中转箱1中的漏液可以更迅速的从中转箱1的底部开孔左侧流入管路2较大的左侧区域中，从而使得漏液侦测更为快速有效。\n[0037] 实施例三：\n[0038] 如图6所示，本实施例和实施例一大致相同，具体改进为，中转箱设有N个套管，N为大于等于1的自然数。在本实施例中，中转箱设有3个套管，并相应配备3个传感器，可以增加漏液侦测的准确度。\n[0039] 由上述两个实施例可知，当中转箱有漏液时，通过中转箱底部的开口流入管路中，由于管路内部设有具有导气功能的支管，从而防止了漏液进入管路时产生的气封现象，管路外部的传感器感知到管路内部的变化，启动报警装置，从而使漏液问题能够及时得到处理，避免了大面积漏液情况的发生，本发明提供的漏液侦测装置漏液侦测准确度高，且工艺简单，实用性强。\n[0040] 本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。\n[0041] 以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。