真空沉积炉抽真空冷却装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920888450.7
IPC分类号：F27D7/06;F27D9/00;C23C16/44
申请日期：
2019-06-13
申请人：
扬州市硕成伟业电热设备有限公司

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著录项信息

专利名称	真空沉积炉抽真空冷却装置
申请号	CN201920888450.7	申请日期	2019-06-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F27D7/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F27 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕 F27D 一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件（燃烧设备入F23；电加热入H05B） F27D7/00 加热室内气压的形成、维持或循环 F27D7/06 加热室内特定气氛或真空的形成或维持（F27D 7/02优先）	IPC分类号	F;2;7;D;7;/;0;6;;;F;2;7;D;9;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人	扬州市硕成伟业电热设备有限公司	申请人地址	江苏省扬州市江都区丁伙镇工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州市硕成伟业电热设备有限公司	当前权利人	扬州市硕成伟业电热设备有限公司
发明人	黄志国;石映;徐洪华;何箭
代理机构	北京精金石知识产权代理有限公司	代理人	宋秀兰

摘要

本实用新型提供了冷却效果好的真空沉积炉的抽真空冷却装置。包括连接在沉积炉出气口的出气管一、一级冷却塔、二级冷却塔、真空泵以及出气管二，所述一级冷却塔有两个，所述二级冷却塔有两个，所述真空泵有三个，两个所述一级冷却塔通过支管一与出气管一连通，两个所述二级冷却塔分别连接在两个一级冷却塔后，三个所述真空泵通过支管二连接在同一出气管二上。本实用新型中，真空泵将沉积炉中的热气从出气管一中抽出，依次经过以及冷却塔和二级冷却塔的冷却，排出。在出气管一中设螺旋冷却管，在冷却管中不间断加入冷却液，对进入出气管一中的热气进行预冷，从而增加整个抽真空冷却装置的冷却效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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