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一种靶材除尘装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201822265360.0
  • IPC分类号:B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00
  • 申请日期:
    2018-12-31
  • 申请人:
    桂林电子科技大学
著录项信息
专利名称一种靶材除尘装置
申请号CN201822265360.0申请日期2018-12-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B5/02IPC分类号B;0;8;B;5;/;0;2;;;B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人桂林电子科技大学申请人地址
广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人桂林电子科技大学当前权利人桂林电子科技大学
发明人肖吉军;欧淑;张海涛
代理机构桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司代理人覃永峰
摘要
本实用新型公开了一种靶材除尘装置,包括旋转底座、吹风口、吸尘网罩和罩壳,所述旋转底座用于安放靶材;多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边;从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面;所述吸尘网罩涂布有不干胶,吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中;所述罩壳内壁涂布有不干胶,罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°‑35°。位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°‑35°。本除尘装置可以满足除尘工序的技术要求,具有除尘快速、除尘效率高、降低操作人员的用眼强度,除尘彻底的优点。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供