加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种离子注入机束水平方向注入角度测控装置及测控方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410699334.2
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2014-11-27
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第四十八研究所
著录项信息
专利名称一种离子注入机束水平方向注入角度测控装置及测控方法
申请号CN201410699334.2申请日期2014-11-27
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-04-22公开/公告号CN104538324A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所申请人地址
北京市通州区兴光二街6号1幢1层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京烁科中科信电子装备有限公司当前权利人北京烁科中科信电子装备有限公司
发明人袁卫华;钟新华;彭立波;孙雪平;易文杰;许波涛
代理机构长沙正奇专利事务所有限责任公司代理人马强
摘要
本发明公开了一种离子注入机束水平方向注入角度测控装置及测控方法,测控装置包括束流角度测量装置和注入角度控制装置,束流角度测量装置包括固定阵列法拉第以及能在固定阵列法拉第束流入射的正前方左右移动的移动法拉第杯;注入角度控制装置包括设置在所述固定阵列法拉第和移动法拉第杯之间的、用于吸附晶片的注入晶片靶台、与注入晶片靶台连接的气浮轴,气浮轴底端与气浮轴旋转驱动机构连接。本发明提供了离子注入机水平方向束角度测控装置与方法,使得当通过离子束传输光路的自校正后束水平度仍然达不到注入工艺束水平角度要求时,通过气浮轴旋转驱动机构对注入水平角度进行修正控制,保证水平方向注入角度的精准性,提高注入机的工艺性能。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供