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非易失性存储器件及其操作和制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610171716.3
  • IPC分类号:H01L27/24;H01L21/822;G11C16/02;G11C16/10
  • 申请日期:
    2006-12-19
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称非易失性存储器件及其操作和制造方法
申请号CN200610171716.3申请日期2006-12-19
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2007-10-24公开/公告号CN101060129
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/24IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;2;;;G;1;1;C;1;6;/;0;2;;;G;1;1;C;1;6;/;1;0查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人朴允童;李明宰;金东徹;安承彦
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波
摘要
一种非易失性存储器件及其操作和制造方法提供了高集成度和高速度,同时允许低工作电流。所述非易失性存储器件包括半导体衬底。在所述半导体衬底的表面上形成电阻层,所述电阻层每者均存储可变电阻状态。在位于所述电阻层之下的所述半导体衬底上形成掩埋电极,并将其分别连接至所述电阻层。在所述半导体衬底的表面上形成沟道区,其使相邻的所述电阻层相互连接,但不连接下部电极。在所述半导体衬底的所述沟道区上形成栅极绝缘层。在所述栅极绝缘层上形成栅电极,其在所述电阻层之上延伸。

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