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感活性光线性或感放射线性树脂组合物、及使用其的图案形成方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201380029594.2
IPC分类号：G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027
申请日期：
2013-06-05
申请人：
富士胶片株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	感活性光线性或感放射线性树脂组合物、及使用其的图案形成方法
申请号	CN201380029594.2	申请日期	2013-06-05
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-02-18	公开/公告号	CN104364714A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	涩谷明规
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	蒋亭

摘要

本发明的感活性光线性或感放射线性树脂组合物含有(A)至少1种下述通式(I)所表示的通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物、和(B)至少1种包含下述通式(1)所表示的重复单元的通过酸的作用分解而对于碱显影液的溶解度增大的树脂。

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