一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410494757.0
IPC分类号：G01Q60/16;G01Q60/10
申请日期：
2014-09-24
申请人：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所

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专利名称	一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法
申请号	CN201410494757.0	申请日期	2014-09-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-04-20	公开/公告号	CN105510639A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/10 STM 〔扫描隧道显微术〕或其设备，例如STM探针〔2010.01〕 G01Q60/16 探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;1;6;;;G;0;1;Q;6;0;/;1;0查看分类表>
申请人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	申请人地址	浙江省宁波市镇海区庄市大道519号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	当前权利人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所
发明人	陈斌;李润伟;刘宜伟;王保敏
代理机构	宁波元为知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	单英

摘要

本发明提供了一种扫描探针显微镜中的探针。该探针由探针臂与针尖组成，针尖由针尖本体，以及依次位于针尖本体表面的薄膜一、薄膜二、薄膜三组成；薄膜一具有导电性；薄膜二具有电绝缘性；薄膜三具有磁性与导电性，或者薄膜三具有导电性；薄膜一与薄膜三的材料不同，并且薄膜一、薄膜二和薄膜三构成热电偶结构。利用该探针能够对多功能材料的磁、电、热多参量进行原位表征，从而能够原位、直观地研究材料的电‑热、磁‑热，以及磁‑电‑热之间的耦合规律与机制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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