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一种石墨烯沉积设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201922187923.3
  • IPC分类号:C23C16/26;C23C16/52
  • 申请日期:
    2019-12-09
  • 申请人:
    北京纳米能源与系统研究所
著录项信息
专利名称一种石墨烯沉积设备
申请号CN201922187923.3申请日期2019-12-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/26IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人北京纳米能源与系统研究所申请人地址
北京市海淀区学院路30号科大天工大厦C座 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京纳米能源与系统研究所当前权利人北京纳米能源与系统研究所
发明人孙其君;孟艳芳;丁美;贾传坤;冯昊阳
代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司代理人路晓丹
摘要
本实用新型涉及石墨烯制备领域,公开一种石墨烯沉积设备。该石墨烯沉积设备包括:机体,设有容纳腔,位于容纳腔内的真空腔,以及位于真空腔内的反应腔,反应腔内设有加热组件和位于加热组件上方的承载板,承载板的内部均匀设置有多个温度传感器;其中,反应腔包括设置于真空腔的底板上的保温墙和设置于承载板上方且与保温墙的顶部闭合的保温盖;真空腔与反应腔气路连通且均为长方体结构。利用该设备能够解决现有石墨烯沉积设备由于反应腔室温度不均从而造成产品质量合格率低的问题。

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