导电性研磨垫及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03148308.9
IPC分类号：--
申请日期：
2003-06-30
申请人：
智胜科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	导电性研磨垫及其制造方法
申请号	CN03148308.9	申请日期	2003-06-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-01-19	公开/公告号	CN1565824
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	智胜科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	智胜科技股份有限公司	当前权利人	智胜科技股份有限公司
发明人	施文昌;张永忠;朱明癸
代理机构	北京中原华和知识产权代理有限责任公司	代理人	寿宁;张华辉

摘要

一种导电性研磨垫及其制造方法，导电性研磨垫的制造方法，是先提供具有模腔的模具，之后在模腔中注入高分子发泡体，并使导电物质分散于高分子发泡体中；然后使高分子发泡体硬化成型，接着再进行脱模步骤，取得一研磨垫。导电性研磨垫，包括：一高分子发泡体；一导电物质分散于高分子发泡体中。导电物质选自导电高分子聚合物、抗静电剂、碳黑、金属粉末、导电性填充物以及导电性纤维其中之一。高分子发泡体包括聚氨酯、环氧树脂、聚氨树脂、美耐明树脂及相关的热固性树脂发泡体。由于研磨垫具导电性而可提升研磨效率，并延长使用寿命，降低成本；其可并行应用于电解研磨与一般研磨，而可提升研磨效率；其在不增加其它制程设备下即可制作出导电性研磨垫，更加适于实用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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