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一种气体混合器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310448853.7
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2013-09-28
  • 申请人:
    无锡荣能半导体材料有限公司
著录项信息
专利名称一种气体混合器
申请号CN201310448853.7申请日期2013-09-28
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2014-01-15公开/公告号CN103510073A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人无锡荣能半导体材料有限公司申请人地址
江苏省无锡市惠山区玉祁镇开发区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡荣能半导体材料有限公司当前权利人无锡荣能半导体材料有限公司
发明人刘耀峰;潘振东
代理机构北京中恒高博知识产权代理有限公司代理人刘洪京
摘要
本发明公开一种气体混合器。该气体混合器包括第一空心球和第二空心球,在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管,所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处;所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接;所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。采用本发明的气体混合器可以实现气体的快速充分混合,混合气体浓度不易产生波动,混合气体的质量稳定可靠,有效地提高和控制半导体生长质量。

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