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钢管连续式溅射镀膜机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910038136.4
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/56
  • 申请日期:
    2019-01-16
  • 申请人:
    北京奥普科星技术有限公司
著录项信息
专利名称钢管连续式溅射镀膜机
申请号CN201910038136.4申请日期2019-01-16
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-04-05公开/公告号CN109576660A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人北京奥普科星技术有限公司申请人地址
北京市门头沟区石龙工业开发区龙园路8号F3-10A号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京奥普科星技术有限公司当前权利人北京奥普科星技术有限公司
发明人王峥;龙睿芬;薛道荣
代理机构北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)代理人白明珠
摘要
本发明公开了一种钢管连续式溅射镀膜机,包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室,首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀,部分所述第一腔室上连接有真空泵组,连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件,所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮,所述传动组件上设有到位行程开关机构;所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨,所述第二腔室上设有回程输送系统,所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本发明有益效果:不仅能够提高镀膜效率,而且使成膜质量好,同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。

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