一种可制备多级微结构的装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110249538.6
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2021-03-06
申请人：
长春工业大学

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著录项信息

专利名称	一种可制备多级微结构的装置
申请号	CN202110249538.6	申请日期	2021-03-06
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-22	公开/公告号	CN113009783A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	长春工业大学	申请人地址	吉林省长春市延安大街2055号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春工业大学	当前权利人	长春工业大学
发明人	谷岩;林洁琼;陈斯;李洁;邹宸宇;郭金槄;许济琛;李超;陈文豪;范亚林;马海航;付斌;胡思达;黄洲
代理机构	吉林长春新纪元专利代理有限责任公司	代理人	魏征骥

摘要

本发明涉及一种可制备多级微结构的装置，属于纳米压印领域。可升降平台一固定在机架的左侧板上，可升降平台二固定在机架的右侧板上，微调节装置一通过螺钉固定在可升降平台一上，微调节装置二通过螺钉固定在可升降平台二上，固定架左侧通过螺钉与可升降平台一连接、右侧通过螺钉与可升降平台二连接，压印装置通过圆柱卡扣与固定架滑动接触，支撑台通过螺钉固定在XY位移平台上，XY位移平台通过螺钉固定在机架的底板上。优点是堆叠精度高，使光辊上的微结构与平面衬底更好的线性接触，提高了堆叠的精度；便于多层堆叠：能够将光辊上压印好的单层微结构在平面衬底上进行不同层数的堆叠，使得制备多级微结构不受装置的限制。

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