一种旋转冲洗甩干机控制系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920906378.6
IPC分类号：G05B19/042;G01D21/02
申请日期：
2019-06-14
申请人：
湖南新锐微电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种旋转冲洗甩干机控制系统
申请号	CN201920906378.6	申请日期	2019-06-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/042 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/04 除数字控制外的程序控制，即顺序控制器或逻辑控制器（G05B 19/418优先；数字控制入G05B 19/18） G05B19/042 使用数字处理装置（G05B 19/05优先）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;0;4;2;;;G;0;1;D;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	湖南新锐微电子科技有限公司	申请人地址	湖南省长沙市高新开发区青山路6号金鹰文化创意园2号厂房402 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南新锐微电子科技有限公司	当前权利人	湖南新锐微电子科技有限公司
发明人	谭世唯
代理机构	广州嘉权专利商标事务所有限公司	代理人	肖云

摘要

本实用新型公开了一种旋转冲洗甩干机控制系统，包括电机、电机驱动器、编码器、主控模块、检测单元、开关单元、阀门单元、加热单元和用于供电的电源模块，电机与电机驱动器相连，编码器分别连接电机和电机驱动器，电机驱动器、检测单元、开关单元和加热单元分别与主控模块相连。本技术方案通过主控模块对电机的控制实现旋转甩干功能，通过主控模块对加热单元的控制实现烘干功能，通过检测单元对主控模块的反馈实现各项监控功能，通过主控模块对阀门单元的控制实现冲洗、加压、自清洁功能，通过开关单元保证系统运行过程中的稳定性和安全性；整套系统能够实现对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且功能完善，对半导体晶片的清洁效果好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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