加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

均热装置和有机膜成膜装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880128669.1
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/12
  • 申请日期:
    2008-04-11
  • 申请人:
    国立大学法人东北大学;东芝三菱电机产业系统株式会社
著录项信息
专利名称均热装置和有机膜成膜装置
申请号CN200880128669.1申请日期2008-04-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-04-13公开/公告号CN102016107A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人国立大学法人东北大学;东芝三菱电机产业系统株式会社申请人地址
日本宫城县;日本宫城县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人国立大学法人东北大学,东芝三菱电机产业系统株式会社当前权利人国立大学法人东北大学,东芝三菱电机产业系统株式会社
发明人大见忠弘;北野真史;山荫久明;山田义人
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人马淑香
摘要
一种均热装置,包括:容器构造体,该容器构造体具有在内部填充有工作流体、且对被加热材料加热以使被加热材料汽化的加热块(1);加热单元(6),该加热单元(6)配置在容器构造体的底部;以及材料供应管(11),该材料供应管(11)将容器构造体的外侧与内侧连通。在加热块(1)上形成有作为供被加热材料流动的流路的、与材料供应管(11)相连接并朝水平方向延伸的总集气管(12)以及从总集气管(12)分岔并向上下方向延伸的竖管(14),此外,还形成有作为对工作流体进行冷却冷凝的冷凝路的、形成于竖管(14)两侧并朝水平方向延伸的冷凝孔(10)以及形成于竖管(14)下侧的冷凝槽(16)。在冷凝孔(10)与冷凝槽(16)之间配置有总集气管(12)。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供