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具有电极的电子器件及其制备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN02108304.5
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2002-03-28
  • 申请人:
    富士通株式会社
著录项信息
专利名称具有电极的电子器件及其制备
申请号CN02108304.5申请日期2002-03-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2003-04-30公开/公告号CN1414636
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人富士通株式会社申请人地址
日本神奈川 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士通株式会社当前权利人富士通株式会社
发明人丸山研二;近藤正雄;仓泽正树
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人王杰
摘要
一种电子器件的制备方法,包括下述步骤:(a)制备(001)取向的ReO3层;以及(b)在ReO3层上形成具有钙钛矿结构的(001)取向的氧化物铁电层。优选地,步骤(a)包括下述步骤:(a-1)制备(001)取向的MgO层;以及(a-2)在MgO层上形成(001)取向的ReO3层。提供了一种能够获得具有高极化程度的铁电层的电子器件及其制备方法。

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