具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510030271.2
IPC分类号：H01L21/677;B65G1/02
申请日期：
2005-09-29
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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专利名称	具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置
申请号	CN200510030271.2	申请日期	2005-09-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-04-04	公开/公告号	CN1941313
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;6;5;G;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人	张银娟;郑文国
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	李勇

摘要

具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置(R/M)，其特征是，安全挡板设置在晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置(R/M)的完整空间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上。安全挡板的形状是中间向外突出的折弯形，向外突出的中间部分与两个侧边部分之间的夹角分别是150度±1度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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