一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710182871.3
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2017-03-24
申请人：
中国工程物理研究院应用电子学研究所

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著录项信息

专利名称	一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法
申请号	CN201710182871.3	申请日期	2017-03-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-13	公开/公告号	CN106840615A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院应用电子学研究所	申请人地址	四川省绵阳市游仙区919信箱1013分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院应用电子学研究所	当前权利人	中国工程物理研究院应用电子学研究所
发明人	王锋;邹凯;陈天江;周彦卿;卢飞;雒仲祥;马立斌;余鸿铭;张永红
代理机构	成都九鼎天元知识产权代理有限公司	代理人	沈强

摘要

本发明提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法，该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；分光镜放置于光瞳测量位置后；共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；CCD相机固定于电控平移台上；装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。该方案利用电控平移台改变CCD相机与共轭成像镜头目镜的距离S，实现对不同位置激光束光瞳的在线高精度扫描测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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