单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件

发明专利有效专利

申请号：
CN202011508798.2
IPC分类号：B01D46/00;C30B15/00
申请日期：
2020-12-18
申请人：
徐州晶睿半导体装备科技有限公司

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著录项信息

专利名称	单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件
申请号	CN202011508798.2	申请日期	2020-12-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-09	公开/公告号	CN112619306A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D46/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D46/00 专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法（过滤元件入B01D 24/00至B01D 35/00；过滤材料入B01D 39/00；它们在过滤器外的再生入B01D 41/00）	IPC分类号	B;0;1;D;4;6;/;0;0;;;C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	徐州晶睿半导体装备科技有限公司	申请人地址	江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州晶睿半导体装备科技有限公司	当前权利人	徐州晶睿半导体装备科技有限公司
发明人	王建军;汪佳;王磊;黄保强;王晓明;张理杰
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	周慧云

摘要

本发明公开了一种单晶炉的除尘过滤系统，包括除尘装置、储气装置、第一真空装置和第二真空装置，除尘装置为多个，每个除尘装置上设有第一进气管路，第一进气管路适于与单晶炉的排气口连通，储气装置上设有出气管路，每个除尘装置分别通过出气管路与储气装置连通，出气管路上设有第二开关阀，第一真空装置上设有第一真空管路，每个除尘装置分别通过第一真空管路与第一真空装置连通，第二真空装置上设有第二真空管路，每个除尘装置分别通过第二真空管路与第二真空装置连通。根据本发明的单晶炉的除尘过滤系统，便于实现对除尘装置的除尘处理，有效避免除尘装置堵塞，且不影响单晶炉的长晶过程。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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