一种用于提拉法长晶的坩埚高度微调装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820205577.X
IPC分类号：C30B15/00
申请日期：
2018-02-06
申请人：
安徽中科镭泰激光科技有限公司

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专利名称	一种用于提拉法长晶的坩埚高度微调装置
申请号	CN201820205577.X	申请日期	2018-02-06
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	安徽中科镭泰激光科技有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市繁昌县经济开发区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽中科镭泰激光科技有限公司	当前权利人	安徽中科镭泰激光科技有限公司
发明人	佘茜;韩鹏
代理机构	芜湖安汇知识产权代理有限公司	代理人	曹政

摘要

本实用新型公开了一种用于提拉法长晶的坩埚高度微调装置，具有：坩埚；侧保温层，包围坩埚；底保温层，与侧保温层连接并支撑侧保温层；调节机构，设置在侧保温层底部，调节机构支撑坩埚；调节机构具有一个上托块和两个下调节垫块，上托块底部设有一个圆锥形的凸起，下调节垫块上设有与圆锥形的凸起相适配的斜面，两个下调节垫块分别位于上托块的两侧并支撑上托块；可方便快捷准确调节坩埚相对高度的方法，可用于温场的细微调节，能够方便、快捷、精准的微调坩埚相对高度，搭建最为合适的晶体生长温场。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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