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一种波长可调的AlGaAs光电阴极

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910098554.2
  • IPC分类号:H01J1/34;H01J9/12
  • 申请日期:
    2019-01-31
  • 申请人:
    南京工程学院
著录项信息
专利名称一种波长可调的AlGaAs光电阴极
申请号CN201910098554.2申请日期2019-01-31
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-04-23公开/公告号CN109671600A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J1/34IPC分类号H;0;1;J;1;/;3;4;;;H;0;1;J;9;/;1;2查看分类表>
申请人南京工程学院申请人地址
江苏省南京市江宁区科技园弘景大道1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京工程学院当前权利人南京工程学院
发明人赵静;郭婧;冯琤;张健
代理机构南京钟山专利代理有限公司代理人戴朝荣
摘要
本发明是一种波长可调的AlGaAs光电阴极,包括由下至上依次同心设置的玻璃窗口、Si3N4增透层、缓冲层和若干片发射层,所述的若干片发射层由下至上直径依次减小,每层发射层的上表面覆盖有激活层,每层激活层表面均覆盖有可拆卸的遮光帽;其中缓冲层采用AlxGa1‑xAs均匀掺杂缓冲层;若干片发射层采用不同Al组分的Alx’Ga1‑x’As发射层,若干片发射层中Al组分x’值由下至上依次减小,x’值介于1~0之间,若干片发射层均采用均匀掺杂方式,各片发射层中的掺杂浓度由下至上依次减小;激活层采用Cs/O激活层;该种光电阴极配合合适数量和位置的遮光帽,根据使用场景的不同能够实现波长可调的效果。

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