一种基于场效应晶体管的光纤调制器件及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211125996.X
IPC分类号：G02F1/01;G03F7/20;C23C28/00
申请日期：
2022-09-16
申请人：
南京大学

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专利名称	一种基于场效应晶体管的光纤调制器件及其制备方法
申请号	CN202211125996.X	申请日期	2022-09-16
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2022-11-22	公开/公告号	CN115373162A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/01 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;0;1;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;C;2;3;C;2;8;/;0;0查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市栖霞区仙林大道163号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	徐飞;吴晨晖;徐浩天;丁梓轩;熊毅丰
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种基于场效应晶体管的光纤调制器件及其制备方法。该光纤调制器件包括光纤、一对光纤端面金属电极、调制材料薄膜、氧化物介质层以及一层栅极金属电极；调制材料薄膜位于光纤的端面；一对光纤端面金属电极分别连接调制材料薄膜；氧化物介质层覆盖在调制材料薄膜上；栅极金属电极覆盖在氧化物介质层上。本发明制备的光纤端面场效应晶体管调制器件可以实现从近红外到中红外波段光调制功能，器件调制效果好，尺寸小，在光调制领域具有广泛应用前景。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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