一种压电式集成化柔性触觉传感器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911221268.7
IPC分类号：G01L1/16;G01D5/12;H01L41/113
申请日期：
2019-12-03
申请人：
华南理工大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种压电式集成化柔性触觉传感器及其制备方法
申请号	CN201911221268.7	申请日期	2019-12-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-24	公开/公告号	CN111060233A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/16 利用压电器件的性质	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;6;;;G;0;1;D;5;/;1;2;;;H;0;1;L;4;1;/;1;1;3查看分类表>
申请人	华南理工大学	申请人地址	广东省广州市天河区五山路381号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华南理工大学	当前权利人	华南理工大学
发明人	刘玉荣;许章铖;向银雪;耿魁伟;姚若河
代理机构	广州市华学知识产权代理有限公司	代理人	仵乐娟

摘要

本发明公开了一种压电式集成化柔性触觉传感器及其制备方法，该压电式集成化柔性触觉传感器包括双栅结构金属氧化物TFT、位于双栅结构TFT的顶栅电极层上的包含氧化锌纳米线压电薄膜层以及位于纳米压电薄膜层上的上电极，顶栅电极层、氧化锌纳米线或纳米带压电薄膜层以及上电极构成纳米压电敏感单元。该柔性触觉传感器将双栅结构金属氧化物TFT与纳米压电薄膜传感器集成为一体，金属氧化物TFT既作为电荷放大器，又作为阵元开关，实现了高灵敏度、高分辨率、高信噪比、高柔韧性、抗干扰能力强、灵敏度和量程可调的优点。其制备工艺简单、成本低廉并可大面积阵列化制备，能广泛应用于仿生电子系统、可穿戴设备、机器人和医疗健康等多个领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供