薄膜应力测量设备及其测量方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010504551.3
IPC分类号：G01L1/24 G01B11/255
申请日期：
2010-10-10
申请人：
徐建康

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	薄膜应力测量设备及其测量方法
申请号	CN201010504551.3	申请日期	2010-10-10
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-20	公开/公告号	CN102023068A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/24 通过测量材料受应力时其光学性质的变化，例如，应用光弹性应力分析	IPC分类号	G01L1/24; G01B11/255查看分类表>
申请人	徐建康	申请人地址	浙江省绍兴市袍江新区教育路66-9号科创中心4*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐建康	当前权利人	徐建康
发明人	徐建康
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种薄膜应力测量设备及其测量方法，在长方体设备机箱中，激光LED、光学反射镜、直线滑轨、探测器、直线滑轨、皆与设备机箱的顶面相联接，直线滑轨置于直线滑轨的下面且垂直相连，托盘、A/D数据采集卡安置在设备机箱的内侧底面上，托盘、A/D数据采集卡、直线滑轨、探测器、直线滑轨皆通过电路与长方体设备机箱外部的计算机相连，本设备采用光灵敏电探测器自动跟踪光路偏转，采集光路偏转位移信号，通过微型步进电机控制转动托盘能迅速地生成一张硅片精确区域的曲率和应力变化的彩图，帮助了解整张硅片表面薄膜的情况，可获取薄膜表面二维以及三维的图象，采用VC++语言编写友好界面，可供进一步扩展程序功能。

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发明授权

薄膜应力测量设备及其测量方法

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