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使用表面张力减少气体干燥晶片的方法和装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200780051593.2
  • IPC分类号:H01L21/304
  • 申请日期:
    2007-12-14
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称使用表面张力减少气体干燥晶片的方法和装置
申请号CN200780051593.2申请日期2007-12-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2010-01-06公开/公告号CN101622694
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人约翰·M·德拉里奥斯;保罗·A·基特尔;迈克尔·拉夫金;米哈伊尔·科罗利克;埃里克·弗里尔;卡特里娜·米哈里斯;弗里茨·C·雷德克
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人吴贵明;张英
摘要

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