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使用电子束处理柔性基板的设备及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201480083186.X
IPC分类号：H01J37/077H01J37/304
申请日期：
2014-11-07
申请人：
应用材料公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	使用电子束处理柔性基板的设备及方法
申请号	CN201480083186.X	申请日期	2014-11-07
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-08-18	公开/公告号	CN107078008A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/077 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/06 电子源；电子枪 H01J37/077 用气体或蒸气放电作电子源的电子枪〔3〕	IPC分类号	H01J37/077;H01J37/304查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	贡特尔·克莱姆;沃尔克·哈克;罗兰·特拉斯尔
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。

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