一种芯片表面缺陷检测模型建立方法和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110875101.3
IPC分类号：G06T7/00;G06T7/11;G06T7/194;G06K9/34;G06N3/04;G06N3/08
申请日期：
2021-07-30
申请人：
西安电子科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种芯片表面缺陷检测模型建立方法和系统
申请号	CN202110875101.3	申请日期	2021-07-30
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113554638A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T7/00 图像分析〔6，2006.01，2017.01〕	IPC分类号	G;0;6;T;7;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;1;1;;;G;0;6;T;7;/;1;9;4;;;G;0;6;K;9;/;3;4;;;G;0;6;N;3;/;0;4;;;G;0;6;N;3;/;0;8查看分类表>
申请人	西安电子科技大学	申请人地址	陕西省西安市太白南路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安电子科技大学	当前权利人	西安电子科技大学
发明人	任获荣;韩云清;黄鹏;张佳峰;焦小强;李拓
代理机构	郑州芝麻绘智知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	夏开松

摘要

本发明适用于芯片表面缺陷检测技术领域，提供了一种芯片表面缺陷检测模型建立方法和系统，所述方法包括以下步骤：获取多张芯片表面图像，对所得图像依次进行分割以提取出芯片图像；对所述芯片图像进行预处理，以剔除芯片图像中的字符信息；对所得芯片图像进行图像增强处理得到样本数据集，并对样本数据集内的芯片图像进行缺陷标注；对样本数据集内的芯片图像进行处理，以所述样本数据集训练UNet神经网络，得到训练好的语义分割缺陷检测模型；对剔除字符信息的芯片图像的Lab通道进行超像素分割；通过超像素分割结果对语义分割缺陷检测模型进行融合处理，可有效解决现有技术对芯片表面缺陷检测效率低、对于弱缺陷分割不够精确的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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