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功能区具有粗糙度的半导体气体传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410322190.9
  • IPC分类号:G01N27/00
  • 申请日期:
    2014-07-08
  • 申请人:
    苏州纳格光电科技有限公司
著录项信息
专利名称功能区具有粗糙度的半导体气体传感器
申请号CN201410322190.9申请日期2014-07-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-09-17公开/公告号CN104048999A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/00IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人苏州纳格光电科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼104室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州纳格光电科技有限公司当前权利人苏州纳格光电科技有限公司
发明人徐红艳;张克栋;崔铮
代理机构苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)代理人杨林洁
摘要
本发明揭示了一种功能区具有粗糙度的半导体气体传感器,包括基底;设置在基底上的信号感测电极,信号感测电极包括两个导电电极以及电性连接两个导电电极的功能层;设置在基底上的加热电极,加热电极与信号感测电极彼此绝缘;其中,基底位于两个导电电极之间区域的表面粗糙度大于基底上的剩余区域。本发明提供的半导体气体传感器,通过在导电电极之间区域的基底上增加粗糙度,在后续功能层的制作中,气敏材料可以与基底之间形成更多的空隙,便于待检测气体的通过,从而提升气体传感器的灵敏度和响应速率。

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