减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板

发明专利有效专利

申请号：
CN202110696983.7
IPC分类号：H01J37/32;C23C16/44;C23C16/455
申请日期：
2017-06-29
申请人：
朗姆研究公司

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著录项信息

专利名称	减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板
申请号	CN202110696983.7	申请日期	2017-06-29
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-16	公开/公告号	CN113658844A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	理查德·菲利普斯;瑞安·布拉基埃;尚卡·斯瓦米纳森
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	樊英如;邱晓敏

摘要

本发明涉及减少衬底处理系统再循环的轴环、锥形喷头和/或顶板。衬底处理系统包括处理室和喷头，喷头包括面板、杆部和圆柱形基部。轴环将喷头连接到处理室的顶表面。轴环限定接收二次吹扫气体的气体通道和沿着径向向外且向下的方向引导来自气体通道的二次吹扫气体的多个气体缝隙。锥形表面被布置成邻近圆柱形基部并且围绕喷头的杆部。倒锥形表面邻近处理室的顶表面和侧壁设置。锥形表面和倒锥形表面限定成角度的气体通道，成角度的气体通道从多个气体缝隙到限定在圆柱形基部的径向外部与处理室的侧壁之间的间隙。

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