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远程掺杂气体供应系统的气体传输适配装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110100161.8
  • IPC分类号:F17D1/02;F17D5/02;F17D5/00
  • 申请日期:
    2021-01-25
  • 申请人:
    晨硕国际有限公司
著录项信息
专利名称远程掺杂气体供应系统的气体传输适配装置
申请号CN202110100161.8申请日期2021-01-25
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-09公开/公告号CN113623543A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D1/02IPC分类号F;1;7;D;1;/;0;2;;;F;1;7;D;5;/;0;2;;;F;1;7;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人晨硕国际有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人晨硕国际有限公司当前权利人晨硕国际有限公司
发明人谢承靖
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人张燕华
摘要
本发明涉及一种远程掺杂气体供应系统的气体传输适配装置,用以串接于一远程掺杂气体源与一本地供气金属室之间,并包含有一电性绝缘盒、一硬质绝缘管件及至少一可挠性管;该硬质绝缘管件固定在该电性绝缘盒内,以与本地供气金属室的高电压源隔离,而该至少一可挠性管气密地固定于该电性绝缘盒上,并与该硬质绝缘管件对应的一端连通,以吸收外界震动能量。

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