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晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120379250.6
  • IPC分类号:H01L21/677;B25J11/00;B25J19/00
  • 申请日期:
    2021-02-19
  • 申请人:
    深圳优艾智合机器人科技有限公司
著录项信息
专利名称晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人
申请号CN202120379250.6申请日期2021-02-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;B;2;5;J;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人深圳优艾智合机器人科技有限公司申请人地址
广东省深圳市福田区深南中路2070号电子科技大厦D座5楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳优艾智合机器人科技有限公司当前权利人深圳优艾智合机器人科技有限公司
发明人黄宗勇;丁凯旋;杨超
代理机构深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙)代理人何姣
摘要
本实用新型涉及晶圆搬运技术领域,具体公开了一种晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人。所述晶圆盒承载装置包括座体以及设置在所述座体上的承载平台;座体包括竖向延伸部,竖向延伸部具有第一侧端和第二侧端,第一侧端和第二侧端相背设置;第一侧端和第二侧端分别凸设有至少一个承载平台;承载平台上形成有至少一个用于承载晶圆盒的卡槽。本实用新型提供的晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人可有效提高晶圆盒搬运的数量和效率,同时提高晶圆盒搬运机器人重心的平稳性,并可有效降低晶圆盒搬运的故障。

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